热搜关键词: 恒温恒湿洁净工程 工艺冷却水系统 fmcs控制系统 无尘净化车间
在无尘室环境中,温湿度控制技术是确保工艺稳定性和产品良率的基石级技术。其核心目标并非仅仅提供舒适的人体环境,而是实现并维持一个高度精确、高度稳定的物理参数基准。这一要求源于现代精密制造(如半导体光刻、精密光学元件加工)与生命科学研究对环境变...
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